干涉儀分類
一些傳統(tǒng)的干涉儀使用非同調(diào)光(通常是單色光)即可進(jìn)行量測,但是由于光源同調(diào)性差,因此操作的人原不但須對干涉理論有所認(rèn)識,而且也要對儀器有良好的熟練度。 1960 年高強(qiáng)度同調(diào)性(Coherence) 光源的雷射問世后,干涉儀才開始蓬勃地發(fā)展;干涉儀可按照形成干涉的光束數(shù)目分為雙光束及多光束兩大類,雙光束干涉儀所產(chǎn)生的條紋其亮度多呈正弦曲線的分布情形,例如太曼格林 (Twyman Green) 干涉儀、菲索 (Fizeau)干涉儀、麥克詹達(dá)干涉儀 (Mach-Zender)、剪像(shearing)干涉計(jì)及麥克森 (Michelson) 干涉儀,皆屬于此種雙光束干涉方式,而多光束干涉儀之條紋亮度分布情形也是周期性的,但卻呈狹窄的亮帶,如梳狀脈沖波形(Dirac comb),有名的法布里-派洛 (Fabry-Perot)干涉儀即屬此類。多光束干涉儀通常是由非常的光束干涉而形成,至于三光束或四光束的干涉儀通常視為雙光束干涉儀的同類,因?yàn)樗鼈兊母缮鏃l紋特性很相近。干涉儀的另一種分類方式是依據(jù)光波分割的情形亦即分為波前分割與振幅分割兩種型式。波前分割是指光束的波前經(jīng)過了同一平面的一系列狹縫而產(chǎn)生分割,例如以雙棱鏡或光柵來把一道光分成二部分。振幅分割則是以部分反射裝置來區(qū)分其振幅大小成二部分,例如光束經(jīng)過了類似分光鏡的界面而分成兩道光。