繼蔡司METROTOM 1500高精度X射線斷層掃描測(cè)量機(jī)于中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院順利安裝及服務(wù)于其高端檢測(cè)服務(wù)后，經(jīng)德國(guó)、新加坡與中國(guó)團(tuán)隊(duì)的共同努力，業(yè)界最高精度測(cè)量機(jī)——蔡司F25亦于近日成功安裝于中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院昌平實(shí)驗(yàn)基地超精密實(shí)驗(yàn)室。
F25配備復(fù)合式超高精度微測(cè)力與視像傳感器系統(tǒng)，以其少于250納米的測(cè)量誤差享譽(yù)國(guó)際計(jì)量領(lǐng)域，該設(shè)備主要面向超高精度幾何計(jì)量、微型精密機(jī)械工程、非球面光學(xué)系統(tǒng)等行業(yè)領(lǐng)域，解決應(yīng)用物理和微細(xì)加工中的納米與微米級(jí)測(cè)量問題，可在微納米計(jì)量、微電子、先進(jìn)制造、微機(jī)械、醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，已安裝多臺(tái)于德國(guó)PTB物理技術(shù)研究院、英國(guó)NPL、博世等國(guó)家級(jí)計(jì)量機(jī)構(gòu)或全球知名企業(yè)。
隨著中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)及支柱產(chǎn)業(yè)改造對(duì)計(jì)量技術(shù)，計(jì)量研究與高精密檢測(cè)的需要，可以預(yù)見METROTOM 1500及F25的安裝將同時(shí)為未來搭建中德現(xiàn)代計(jì)量科學(xué)研究與檢測(cè)平臺(tái)提供良好的基礎(chǔ)，研究、建立新一代的國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置、開展內(nèi)尺寸、微納米量值傳遞、溯源等相關(guān)計(jì)量實(shí)驗(yàn)課題將獲得深入發(fā)展的良好契機(jī)，標(biāo)志著幾何量計(jì)量向內(nèi)尺寸檢測(cè)及微納米研究邁入更深的一步。
