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2015-08-21 10:52:22

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RFX II:RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG:HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV:HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
AE電源維修包括:AC( 交流 / 中頻系列 ) :
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG
PEII :PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX500,MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW,MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw,MDX II 18P
RF ( 射頻系列 ) :
RFG : RFG 80,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000,RFG 3001,RFG 5500,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000,RFDS 2Kw-2KV
RFX : RFX 600,RFX 600A,RFX 1250,RFX 2500,RFX 5500,RFG-AZX
RFX II : RFX II 1250,RFX II 3000,RFX II 5500
ADL電源GSC80 GSC120,GX80 GX120 GX100 直流電源系列
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
M2濺鍍電源 Thor 12K DC Plasma Power Supply.
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美國COMDEL射頻電源: 應(yīng)用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng),也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源
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