激光干涉儀，就是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量方法。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種：
單頻激光干涉儀
雙頻激光干涉儀
進(jìn)口激光干涉儀的進(jìn)口源主要是美國，下面就介紹3家美國激光干涉儀的生產(chǎn)企業(yè)：
API激光干涉儀的特點：
1D激光主要可以測量定位誤差和重復(fù)定位精度
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角
在選擇無線遙控傳感器的情況下，最長的測量距離可到45米（80米可選）。
可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性。
設(shè)計緊湊、體積小，測量機(jī)床時不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間
5D/6D激光干涉儀是API的專利產(chǎn)品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。
測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到最小。
Optodyne MCV-2002直線位移、角偏(俯仰角、偏擺角)、直線度(水平直線度、上下直線度)、平面度測量系統(tǒng)
針對CNC工具機(jī)、CMM (三次元量床)及其它精密量測機(jī)器及平臺校驗。角度、真直度與平面度量測可以自動連續(xù)量測。采用獨特的雙光束設(shè)計，提供快速量測機(jī)臺平面度及機(jī)器軸直線與角度誤差量測。
Optodyne公司之機(jī)器校驗系統(tǒng)采用專利之Laser DooplerDisplacement Meter (LDDMTM)技術(shù)，整套系統(tǒng)非常簡潔，提供簡單方便的保管與運輸方式。
簡單的安裝程序可節(jié)省整體機(jī)器的校驗時間，特別的是只需少量的投資，可進(jìn)行多軸量測，省時省錢。
MCV-2002 雙光束激光設(shè)計提供使用者簡單、在單一儀器能簡單操作直線和角度量測的能力，如同二個干涉儀一體，當(dāng)其中一道光束監(jiān)控角度資料時，另一道光束可監(jiān)控直線定位情形。使用WindowsTM軟件可于任何桌上型或筆記型計算機(jī)上執(zhí)行，操作接口十分友善，可擷取量測資料并分析資料，分析后的數(shù)據(jù)可由屏幕顯示或以表格或圖形打印出來。
ZYGO公司于2014年加入AMETEK（阿美特克）集團(tuán)，成為超精密技術(shù)分部的一員。AMETEK阿美特克是全球領(lǐng)先的電子儀器和電動機(jī)制造商。ZYGO和AMETEK集團(tuán)下的子公司之間的合作和資源共享為客戶提供更好的服務(wù)。
為了更好的拓展和增強干涉儀的功能，ZYGO為用戶提供大量的干涉儀附件。包括：透射平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，參考平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，透射球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，參考球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，調(diào)整架，樣品固定夾具，曲率半徑測量附件等。眾多附件可以滿足客戶多種測量需要。
