隨著第五代移動通信技術(5G)的普及和IoT(物聯(lián)網(wǎng))的快速發(fā)展,半導體行業(yè)前景廣闊。在半導體集成電路的精細化和生產(chǎn)性能的提高上,各大廠商敏銳的發(fā)現(xiàn)了其中的商機。近日,在日本東京都內(nèi)開幕的半導體國際展會“SEMICON Japan”上,以日本企業(yè)為主體的近千家半導體設備與材料廠商展出了最新產(chǎn)品與技術動態(tài)。
展會上,日立高新技術株式會社的電子束檢測系統(tǒng)GS1000進行了展出。GS1000能夠可靠、準確、可重復地檢測和測量細微的半導體電路模型。該系統(tǒng)通過使用先進的電子光學系統(tǒng)設計開發(fā)的光學像差校正器,晶圓可以被電子束成像,而在電子束運動的大范圍內(nèi)分辨率不會下降,從而實現(xiàn)在大范圍內(nèi)的高精度檢測和測量。GS1000結合了快速變化的視野,利用光束位移和靈敏的檢測技術,實現(xiàn)了高精度、大面積掃描,掃描速度比傳統(tǒng)的掃描電鏡SEM快100倍。
極紫外光刻機(EUV)是高精尖芯片制造產(chǎn)線上不可或缺的設備,但是與以往的光刻機相比,EUV存在著容易產(chǎn)生電路線寬偏差的問題,所以對高速度、高精度、大面積掃描的要求更高。
愛德萬測試公司(ADVANTEST)的第四代高速圖像處理引擎T2000 IP Engine 4也進行了參展。T2000 IP Engine 4可以說是業(yè)界最快的圖像處理引擎,可以更好的偵測CMOS圖像傳感器(CIS)輸出數(shù)據(jù)中的瑕疵。2000 IP Engine 4的系統(tǒng)運算性能再升級,圖像處理速度比以往產(chǎn)品提高了約10倍。不僅能處理巨量圖像數(shù)據(jù),更縮短了測試時間與成本。
最新T2000 IP Engine 4系統(tǒng)搭載于愛德萬的T2000 ISS平臺,針對高階智慧型手機相機采用高分辨率、高速CIS元件,提供較佳評價方法。使用該平臺,能夠高速檢測高分辨率CMOS圖像傳感器的輸出數(shù)據(jù)的瑕疵。CMOS圖像傳感器正在被業(yè)界大量應用在智能手機和數(shù)碼相機中,隨著CMOS像素的不斷提升,測試時間會相應增長,因此,高速測試是很有必要的。
在半導體晶片的磨削、研磨、拋光方面居世界首位的半導體設備制造商日本DISCO株式會社在本次展會中沒有選擇展示新產(chǎn)品,而是對既有產(chǎn)品進行了詳細的介紹。目前半導體緊缺,發(fā)售新產(chǎn)品需要花費大量的時間和精力,從產(chǎn)品的研發(fā)、出展到正式批量生產(chǎn),中間的周期是很長的,為了最大限度的滿足市場需求,活用經(jīng)營資源,DISCO沒有進行新品展示。
在全球半導體短缺告急的大背景下,各大半導體廠商為了滿足市場大量的需求,緊急增加產(chǎn)能,作為半導體制造商,始終貫徹著供給優(yōu)先的原則和態(tài)度。