1、DW292-300單晶硅塊切割多線鋸床
DW292-300是專門為半導(dǎo)體行業(yè)將直徑高達300mm的單晶硅塊切割成高質(zhì)量晶圓而設(shè)計的。
新開發(fā)的DW292-300能夠與漿料和金剛石線一起運行,并具有提高晶片質(zhì)量的復(fù)雜功能,如翹曲和波紋度
更長的金屬絲網(wǎng)長度以及更高的金屬絲速度和金屬絲加速度能夠提高每臺機器和每年的吞吐量。由于移動部件的慣性得到優(yōu)化,偏轉(zhuǎn)輥更少,走線路徑更短,因此可以使用非常薄的金剛石走線。
DW292-300由于其緊湊堅固的礦物鑄造框架和剛性設(shè)計,對溫度波動和振動高度不敏感。
操作更安全、更容易、更快,這要歸功于更高的過程自動化和帶有基于對話框的生產(chǎn)助手的新的直觀HMI。
您的優(yōu)勢:
高品質(zhì)晶圓
吞吐量增加
堅固耐用
更高的過程自動化
操作簡單安全
咨詢電話:135 2207 9385
技術(shù)參數(shù):
腹板長度[mm] 660
工件最大尺寸[mm] B.2 305×650
線速[m/sec]漿料: 20/DW:35
線材加速度[m/s2]漿料:8(<3s)/DW:12(<3.5s)
最小導(dǎo)線直徑[μm] 60
最大鋼絲張力[N] 45
偏轉(zhuǎn)輥【個】 6
導(dǎo)絲輥【個】 3
切削液罐[l] 300
機器尺寸[L×W×H][mm] 3800×1380×2860
機器重量[kg] 10600
2、DW 291單晶硅和多晶硅磚切割多線鋸床
使用最細的導(dǎo)線實現(xiàn)最高吞吐量。
DW291是專門為將單晶硅和多晶硅磚切割成光伏行業(yè)的晶片而設(shè)計的。
新開發(fā)的DW291為最快的晶圓切割時間設(shè)定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。DW291提供了一系列全面的創(chuàng)新,以進一步提高晶圓產(chǎn)量。
更長的金屬絲網(wǎng)長度以及更高的金屬絲速度和金屬絲加速度能夠提高每臺機器和每年的吞吐量。由于移動部件的慣性優(yōu)化、較短的布線路徑和金剛石布線管理系統(tǒng)(DWMS),可以使用超薄金剛石布線。
DW291由于其緊湊堅固的礦物鑄造框架和剛性設(shè)計,具有高度的抗溫度波動和振動性能。
操作更安全、更容易、更快,這要歸功于更高的過程自動化和帶有基于對話框的生產(chǎn)助手的新的直觀HMI。
您的優(yōu)勢:
吞吐量增加
細線能力
堅固耐用
更高的過程自動化
操作簡單安全
鉆石線管理系統(tǒng)(DWMS)
經(jīng)過市場驗證的DWMS產(chǎn)品提供了敏銳的技術(shù)和卓越的風(fēng)力特性,并在中國獲得專利(專利號:CN 1044114334B)。DWMS可實現(xiàn)更快的切割時間、更低的金剛石絲消耗和更低的斷絲率。
細線能力
40μm細金剛石線的使用已在生產(chǎn)中得到驗證。這種非凡的能力顯著降低了切口損耗,并最大限度地減少了每公斤硅的晶片數(shù)量。所有相關(guān)機器部件的設(shè)計和改進使其能夠更好地處理細導(dǎo)線并提高操作效率。
技術(shù)參數(shù):
腹板長度[mm] 870
工件最大尺寸[mm] £166×860
線速[m/sec] 33
導(dǎo)線加速度[m/s2] 10(<3.5s)
最小導(dǎo)線直徑[μm] 50
最小晶圓厚度[μm] 100
導(dǎo)絲輥軸距[mm] 390
切削液罐[l] 490
機器尺寸[L×W×H] 3700×1200×2500[mm]
機器重量[kg] 7900
3、DW 288 S6硬脆材料用金剛石線鋸
DW 288 S6多線鋸設(shè)計用于在各種情況下切割硬質(zhì)和脆性材料。
DW 288 S6基于廣泛使用的DW 288產(chǎn)品家族。它已被用于6英寸工件,最大載荷可達650毫米。工件巖石技術(shù)與自適應(yīng)進給相結(jié)合,確保了最高的晶圓質(zhì)量、最大的吞吐量和最低的自有成本。
無論是切片藍寶石、硅鋁、石英、鎂合金還是其他硬質(zhì)材料,DW 288 S6都在生產(chǎn)效率、耐磨性和質(zhì)量方面提供了明確的優(yōu)勢。相關(guān)應(yīng)用包括LED和智能照明、輔助和操作、消費電子和航空航天。
DW 288 S6采用了一流的工件搖滾概念,以獲得出眾的效果。它提供了更高的靈活性,而且非常用戶友好。憑借其監(jiān)測和日志記錄功能,該設(shè)備已為In-dus-try 4.0做好準(zhǔn)備。
DW 288 S6的優(yōu)點
吞吐量增加
最高精度和質(zhì)量
堅固耐用
自動化程度更高
經(jīng)過市場驗證的設(shè)計
基于對金剛石絲切片工藝的深入了解,領(lǐng)先的設(shè)備已升級至DW 288 S6。除了先進的電子和機械系統(tǒng)設(shè)計外,該軟件還經(jīng)過升級,以確保最大限度的過程控制和現(xiàn)代化的制造能力。
技術(shù)參數(shù):
腹板長度[mm] 650
工件的最大尺寸[mm] B.2 165×650
線速[m/s] 30(1800m/min)
導(dǎo)線加速度[m/s2] 10(<4s)
最小導(dǎo)線直徑[μm] 100
最大鋼絲張力[N] 45
擺動原理工件擺動
搖擺角[°] ±12
導(dǎo)絲輥軸距[mm] 390
切削液罐[l] 240
機器尺寸[L×W×H][mm]3700×1780×3010
機器重量[kg] 11500
4、DW 288 S4藍寶石和其他硬脆材料鋸床
藍寶石和其他硬脆材料的智能切片技術(shù)
基于廣泛采用和成功的DW 288產(chǎn)品系列
得益于復(fù)雜的工件擺動,金剛石線鋸DW 288 S4在將半導(dǎo)體硅和藍寶石切片到晶圓中時達到了最高精度。我們詳細的技術(shù)和工藝知識也可以轉(zhuǎn)化為電子、石英或其他硬脆材料。
可選的是經(jīng)過市場驗證的金剛石線材管理系統(tǒng)(DWMS)或用于硬質(zhì)材料(如碳化硅)的漿料介質(zhì)模塊。
您的優(yōu)勢:
剛性和溫度優(yōu)化設(shè)計確保高產(chǎn)量
8英寸半導(dǎo)體和藍寶石行業(yè)同類最佳
適用于不同格式的多功能應(yīng)用程序
技術(shù)參數(shù):
腹板長度[mm] 420
工件的最大尺寸[mm] ?206×420或210×420英制
線速[m/s] 25(1500m/min)
導(dǎo)線加速度[m/s2] 8(<4s)
最小導(dǎo)線直徑[μm] 100
最大鋼絲張力[N] 45
擺動原理工件擺動
搖擺角[°] ±12
導(dǎo)絲輥軸距[mm] 540
切削液罐[l] 240
機器尺寸[L×W×H][mm]3620×1780×3010
機器重量[kg] 10500
5、DS 261表面質(zhì)量最高的12英寸晶圓鋸床
DS261漿狀線鋸
漿料切片晶片的一流表面,以及最佳的翹曲和TTV值,使DS 261成為12英寸半導(dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)先線鋸。
DS 261具有頂級的技術(shù)和質(zhì)量性能,在市場上得到了廣泛應(yīng)用。
好處:
快速高效的切割
最佳扭曲和TTV值
最佳納米拓撲值
集成工件定向
廣泛的應(yīng)用-最大產(chǎn)量
除了硅,多功能DS 261還切割其他硬脆材料,如石英、陶瓷、藍寶石或砷化鎵等不同尺寸的材料。DS 261從制造到加工的高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)保證了最大的產(chǎn)量和最佳的納米拓撲值。
技術(shù)參數(shù):
腹板長度[mm] 410
工件的最大尺寸[mm]dst 305mm×400(應(yīng)要求為dst 18〃)
線速[m/s] 15(900m/min)
導(dǎo)線加速度[m/s2] 2.5(<6.5s)
最小導(dǎo)線直徑[μm] 120
最大鋼絲張力[N] 50
導(dǎo)絲輥軸線距離[mm] 600
切削液漿料
泥漿罐[l] 175
機器尺寸[L×W×H][mm] 2980×4120×3340
機器重量[kg] 12000