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埃福思離子束拋光機(jī)
2024-03-26 09:51:46

1、離子束拋光機(jī)IFS300A

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離子束拋光機(jī)

雙真空室,快速更換工件,離子束拋光生產(chǎn)效率高。

集成法拉第杯和三坐標(biāo)測頭,法拉第杯測量離子束空間位置及分布,三坐標(biāo)側(cè)頭測量工件空間位置及姿態(tài),從而建立精準(zhǔn)加工坐標(biāo)系,實(shí)現(xiàn)高確定性、高精度的離子束拋光,有效消除中高頻誤差。

工件側(cè)立式裝夾,離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。

無線操作手柄,

離子束拋光控制軟件高度集成、智能;離子束拋光保護(hù)措施完善,具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等。

 

離子束拋光機(jī)IFS300A技術(shù)參數(shù):

名稱        參數(shù)

加工能力(最大工件尺寸) 300mm×300mm

厚度        100mm

可加工面形     平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等

可加工材料     石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等

可加工精度     亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS<1nm超高精度加工

X軸行程       ≥300mm

Y軸行程       ≥300mm

Z軸行程       ≥300mm

離子源       美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源

中和器       美國 Veeco HCN / 德國

工作真空建立時間  ≤1 hours

副室真空建立時間  ≤15 min

X軸最大運(yùn)動速度   5m/min

Y軸最大運(yùn)動速度   5m/min

Z軸最大運(yùn)動速度   3m/min

運(yùn)動軸重復(fù)定位精度 ≤±0.01mm

保護(hù)功能      具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等

智能功能      具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

外形尺寸      長寬高:2.5x2.5x2.1m

整機(jī)重量      4噸

能耗功率      Max:12KW   Avg:5KW

 

2、離子束拋光機(jī)IFS1000-600B

 圖片2.png

雙真空室,快速更換工件,離子束拋光生產(chǎn)效率高。

集成法拉第杯和三坐標(biāo)測頭,法拉第杯測量離子束空間位置及分布,三坐標(biāo)側(cè)頭測量工件空間位置及姿態(tài),從而建立精準(zhǔn)加工坐標(biāo)系,實(shí)現(xiàn)高確定性、高精度的離子束拋光,有效消除中高頻誤差。

工件側(cè)立式裝夾,離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。

無線操作手柄。

離子束拋光控制軟件高度集成、智能;離子束拋光保護(hù)措施完善,具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等。

智能功能:具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

 

離子束拋光機(jī)IFS1000-600B參數(shù):

名稱        參數(shù)

加工能力(最大工件尺寸)1000×600mm,250mm厚

可加工面形     平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等;

可加工材料     石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等;

加工光學(xué)元件精度  亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS<1nm超高精度加工;

X軸行程       ≥1100mm

Y軸行程       ≥700mm

Z1軸行程       ≥300mm

Z2軸行程       ≥300mm

離子源       美國Veeco HC 5cm / 德國射頻源

工作真空建立時間  ≤1  hours

副室真空建立時間  ≤15 min

X軸最大運(yùn)動速度   5m/min

Y軸最大運(yùn)動速度   5m/min

Z軸最大運(yùn)動速度   3m/min

運(yùn)動軸重復(fù)定位精度 ≤±0.01mm

保護(hù)功能      具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等

智能功能      具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

外形尺寸      長寬高:3.8×3.2×2.6m

整機(jī)重量      9噸

能耗功率      Max:18KW  Avg:7KW

 

3、離子束拋光機(jī)IFS1300C

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咨詢電話:13522079385

智能功能:具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。

公司研發(fā)團(tuán)隊在非球面超精密拋光加工方面具有20年的工藝開發(fā)和設(shè)備研制經(jīng)驗,秉承“誠信、創(chuàng)新、合作、共贏”的經(jīng)營理念,與客戶共創(chuàng)未來。

 

離子束拋光機(jī)IFS1300C技術(shù)參數(shù):

 

名稱        參數(shù)

加工能力(最大工件尺寸) 1300mm×1300mm

厚度        500mm

X軸行程       ≥1300mm

Y軸行程       ≥1300mm

Z軸行程       ≥300mm

離子源       德國射頻離子源

中和器       德國

最大束電壓     2000V

最大束電流     1000mA

束流密度測量    法拉第杯/探針

陰極Tip壽命      150-1000 hours

去除函數(shù)      高斯型、穩(wěn)定性≥95%

工作真空      5×10-3pa

工作真空建立時間  ≤1.5 hours

副室真空建立時間  ≤30 min

X軸最大運(yùn)動速度   8m/min

Y軸最大運(yùn)動速度   8m/min

Z軸最大運(yùn)動速度   5m/min

運(yùn)動軸重復(fù)定位精度 ≤±0.01mm

保護(hù)功能      具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等         

智能功能      具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。               

外形尺寸      長寬高:6×5×3m

整機(jī)重量      15噸

能耗功率      Max:26KW  Avg:8KW



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