1、離子束拋光機(jī)IFS300A
離子束拋光機(jī)
雙真空室，快速更換工件，離子束拋光生產(chǎn)效率高。
集成法拉第杯和三坐標(biāo)測頭，法拉第杯測量離子束空間位置及分布，三坐標(biāo)側(cè)頭測量工件空間位置及姿態(tài)，從而建立精準(zhǔn)加工坐標(biāo)系，實(shí)現(xiàn)高確定性、高精度的離子束拋光，有效消除中高頻誤差。
工件側(cè)立式裝夾，離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。
無線操作手柄，
離子束拋光控制軟件高度集成、智能；離子束拋光保護(hù)措施完善，具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等。
離子束拋光機(jī)IFS300A技術(shù)參數(shù)：
名稱 參數(shù)
加工能力（最大工件尺寸） 300mm×300mm
厚度 100mm
可加工面形 平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等
可加工材料 石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等
可加工精度 亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS＜1nm超高精度加工
X軸行程 ≥300mm
Y軸行程 ≥300mm
Z軸行程 ≥300mm
離子源 美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源
中和器 美國 Veeco HCN / 德國
工作真空建立時間 ≤1 hours
副室真空建立時間 ≤15 min
X軸最大運(yùn)動速度 5m/min
Y軸最大運(yùn)動速度 5m/min
Z軸最大運(yùn)動速度 3m/min
運(yùn)動軸重復(fù)定位精度 ≤±0.01mm
保護(hù)功能 具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等
智能功能 具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。
外形尺寸 長寬高：2.5x2.5x2.1m
整機(jī)重量 4噸
能耗功率 Max:12KW Avg:5KW
2、離子束拋光機(jī)IFS1000-600B
雙真空室，快速更換工件，離子束拋光生產(chǎn)效率高。
集成法拉第杯和三坐標(biāo)測頭，法拉第杯測量離子束空間位置及分布，三坐標(biāo)側(cè)頭測量工件空間位置及姿態(tài)，從而建立精準(zhǔn)加工坐標(biāo)系，實(shí)現(xiàn)高確定性、高精度的離子束拋光，有效消除中高頻誤差。
工件側(cè)立式裝夾，離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。
無線操作手柄。
離子束拋光控制軟件高度集成、智能；離子束拋光保護(hù)措施完善，具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等。
智能功能：具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。
離子束拋光機(jī)IFS1000-600B參數(shù)：
名稱 參數(shù)
加工能力（最大工件尺寸）1000×600mm，250mm厚
可加工面形 平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等；
可加工材料 石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等；
加工光學(xué)元件精度 亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS＜1nm超高精度加工；
X軸行程 ≥1100mm
Y軸行程 ≥700mm
Z1軸行程 ≥300mm
Z2軸行程 ≥300mm
離子源 美國Veeco HC 5cm / 德國射頻源
工作真空建立時間 ≤1 hours
副室真空建立時間 ≤15 min
X軸最大運(yùn)動速度 5m/min
Y軸最大運(yùn)動速度 5m/min
Z軸最大運(yùn)動速度 3m/min
運(yùn)動軸重復(fù)定位精度 ≤±0.01mm
保護(hù)功能 具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等
智能功能 具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。
外形尺寸 長寬高：3.8×3.2×2.6m
整機(jī)重量 9噸
能耗功率 Max:18KW Avg:7KW
3、離子束拋光機(jī)IFS1300C
咨詢電話：13522079385
智能功能：具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。
公司研發(fā)團(tuán)隊在非球面超精密拋光加工方面具有20年的工藝開發(fā)和設(shè)備研制經(jīng)驗,秉承“誠信、創(chuàng)新、合作、共贏”的經(jīng)營理念，與客戶共創(chuàng)未來。
離子束拋光機(jī)IFS1300C技術(shù)參數(shù)：
名稱 參數(shù)
加工能力（最大工件尺寸） 1300mm×1300mm
厚度 500mm
X軸行程 ≥1300mm
Y軸行程 ≥1300mm
Z軸行程 ≥300mm
離子源 德國射頻離子源
中和器 德國
最大束電壓 2000V
最大束電流 1000mA
束流密度測量 法拉第杯/探針
陰極Tip壽命 150-1000 hours
去除函數(shù) 高斯型、穩(wěn)定性≥95%
工作真空 5×10-3pa
工作真空建立時間 ≤1.5 hours
副室真空建立時間 ≤30 min
X軸最大運(yùn)動速度 8m/min
Y軸最大運(yùn)動速度 8m/min
Z軸最大運(yùn)動速度 5m/min
運(yùn)動軸重復(fù)定位精度 ≤±0.01mm
保護(hù)功能 具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護(hù)、運(yùn)動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等
智能功能 具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。
外形尺寸 長寬高：6×5×3m
整機(jī)重量 15噸
能耗功率 Max:26KW Avg:8KW
