校正系統(tǒng) 用于校準(zhǔn)的激光干涉儀
1/三束激光干涉儀SP5000TR
同時(shí)測(cè)量準(zhǔn)確長(zhǎng)度、俯仰和偏航角的三重光束激光干涉測(cè)量系統(tǒng)
最高精度的彈性長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)
集成光束方向檢測(cè)便于處理和調(diào)整
可使用各種光學(xué)反射器,例如:球形、平面反射鏡
允許測(cè)量反射器的傾斜度最高為+12.5
緊湊型設(shè)計(jì)
鋁、不銹鋼或因瓦的傳感器頭設(shè)計(jì)
波束距離:12毫米
OEM版本,OEM軟件和真空版本是可能的
具有可選擇性的可調(diào)偏轉(zhuǎn)鏡的波束偏轉(zhuǎn)
通過(guò)可選接口擴(kuò)展應(yīng)用范圍
廣泛觸發(fā)選項(xiàng)
按現(xiàn)行有效標(biāo)準(zhǔn)校正軟件
咨詢電話：13522079385
工業(yè)和研究中的許多應(yīng)用領(lǐng)域需要高度精確的同時(shí)位移和角度測(cè)量。在三反射器單元固定的托架的移動(dòng)過(guò)程中,同時(shí)獲得了俯仰角和偏航角以及長(zhǎng)度測(cè)量,使快速和高精度地評(píng)估運(yùn)動(dòng)軸成為可能。快速、簡(jiǎn)單的傳感器調(diào)整尤為重要。
SP5000TR三束激光干涉儀是將三個(gè)干涉儀組合在一起的精密長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x器。所有三個(gè)測(cè)量通道都由一個(gè)具有相同高度穩(wěn)定激光頻率的光源輸入。因此,三長(zhǎng)度值可以同時(shí)測(cè)量納米精度.從兩個(gè)長(zhǎng)度值和標(biāo)定光束距離的差異出發(fā),可以用高分辨率和高精度確定相應(yīng)的角度。
干涉儀系統(tǒng)具有模塊化設(shè)計(jì),因此可以適應(yīng)各種測(cè)量任務(wù)。
傳感器頭的光纖耦合和可選集成光束方向檢測(cè)支持易于處理和精確調(diào)整。
我們的設(shè)計(jì) SP5000TR三束干涉儀 緊湊有力。這使它成為工業(yè)和研究中高精度測(cè)量的理想。版本的OEM儀器也可以在真空中使用.
對(duì)于大型測(cè)量范圍或大型物體的校準(zhǔn),建議使用無(wú)線無(wú)線電溫度傳感器或LCS精密氣候測(cè)量站。
適用領(lǐng)域
引導(dǎo)、測(cè)量、顯微鏡和定位級(jí)的激光干涉測(cè)量
二坐標(biāo)或多坐標(biāo)測(cè)量的高精度俯仰和偏航角校正
測(cè)量機(jī)器和機(jī)床的校正
差數(shù)測(cè)量(膨脹測(cè)量、材料測(cè)試)
動(dòng)態(tài)角測(cè)量,獲取角振蕩
按要求延長(zhǎng)測(cè)量角度的測(cè)量范圍
2/校準(zhǔn)激光干涉儀SP 15000 C5
用于高精度同時(shí)測(cè)量和校準(zhǔn)定位軸的長(zhǎng)度、俯仰角、偏航角和直線度的激光干涉儀
最高精度的彈性長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)
高度精確的長(zhǎng)距離測(cè)量
同步、連續(xù),并與一個(gè)可選的滾轉(zhuǎn)角傳感器結(jié)合,測(cè)量長(zhǎng)度、斜角和偏航角的6個(gè)自由度
集成光束方向檢測(cè)便于處理和調(diào)整
測(cè)量反射器的大傾斜不變性
波束距離:50毫米
旋轉(zhuǎn)光學(xué)可測(cè)量的水平和垂直直度分量
廣泛觸發(fā)選項(xiàng)
Windows和Linux下OEM軟件的開放接口
按現(xiàn)行有效標(biāo)準(zhǔn)校正軟件
高精度的機(jī)械軸引導(dǎo)特性的動(dòng)態(tài)采集以及隨后的符合標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)是一個(gè)非常勞動(dòng)和時(shí)間密集的過(guò)程,最終導(dǎo)致高定位精度。
… SP15000C5校準(zhǔn)激光干涉儀 專門為滿足坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和高精度機(jī)床制造商的要求而開發(fā)。它使同步,連續(xù),并與一個(gè)可選的滾轉(zhuǎn)角度傳感器,6自由度測(cè)量.通過(guò)激光干涉測(cè)量,在所有三個(gè)長(zhǎng)度測(cè)量通道中使用相同的高度穩(wěn)定的激光頻率,獲得了X線和Y線的測(cè)量量長(zhǎng)度、俯仰角、偏航角和直線度。
完整的機(jī)器驗(yàn)收或體積補(bǔ)償可以使用可選的軟件實(shí)現(xiàn)。
由于直線光學(xué)的緊湊設(shè)計(jì),直線鏡直接連接到傳感器頭上。因此,只有兩個(gè)組件需要組裝并相互匹配。即使在擁擠或難以進(jìn)入的空間,測(cè)量系統(tǒng)也可以快速安裝和可靠調(diào)整。
傳感器頭的光纖耦合和集成光束方向檢測(cè)支持了處理和調(diào)整的方便性。校準(zhǔn)干涉儀不需要額外的支架。它可以直接放置在穩(wěn)定的機(jī)床上。這樣可以最大限度地減少要校準(zhǔn)的光學(xué)元件的數(shù)量。
對(duì)于大型測(cè)量范圍或校準(zhǔn)任務(wù),無(wú)線無(wú)線電溫度傳感器或我們的LCS精密氣候測(cè)量站是首選。
