SiC、GaN等的平坦化、薄化、鏡面研磨等加工例：
加工率超越傳統(tǒng)磨削方法。
表面粗糙度消除了包裹工藝、SSD 的需要。
■4-6英寸單晶SiC晶圓超高效減薄加工
6英寸單晶SiC晶圓可在約10分鐘內(nèi)從600μm減薄至100μm、Ra1nm以下。還可以同時加工多個 4 英寸工件。
■4英寸單晶SiC晶圓超平坦化加工
可以創(chuàng)建邊緣平坦的超平坦表面，而這對于晶圓工藝中傳統(tǒng)使用的包裹物來說是不可能的。
■4英寸單晶SiC晶圓超鏡面加工
可進行相當于Ra0.6nm、Rz5.1nm的加工。此外，即使使用超高粒度磨石，工具磨損也極小。
■4英寸單晶SiC晶圓超鏡面加工
成功實現(xiàn)了傳統(tǒng)固定磨料方法無法實現(xiàn)的超最小化加工應變層。
大幅減少晶圓制造過程中的 CMP 工序。
■4英寸藍寶石晶圓高效加工
我們還專注于照明器件等用藍寶石的高效、高精度減薄和平坦化。
■低熱膨脹玻璃
能夠對用作光學產(chǎn)品或晶圓支撐基板的玻璃進行高效率、高精度加工?？梢暂p松實現(xiàn)1μm以下的平坦度。
■陶瓷、玻璃材料等的超高效磨削。
我們還可以以出色的精度和效率加工硬脆材料，例如用作散熱器或支撐基板的陶瓷。
■純鎳、鍍銅等超高效率、超平坦化加工
它還可以輕松高效、高精度地加工 MEMS 中使用的純鎳和銅鍍層等柔軟且粘性的材料。
咨詢電話：13522079385
特征：
一種全新的磨削工藝，顛覆了加工難切削材料晶圓時的常識。
1. 加工效率、質(zhì)量、最小SSD和刀具壽命。
在各個方面都優(yōu)于傳統(tǒng)的加工方法。
與東北大學共同研究開發(fā)的一種創(chuàng)新的難切削材料磨削方法。獨特開發(fā)的智能輪（專利）和恒壓定量復合控制技術，實現(xiàn)了前所未有的加工效率、質(zhì)量、SSD小型化和刀具壽命。
2、定量恒壓復合控制技術（已申請專利），始終達到最佳加工條件。
這是一項革命性的技術，旨在最大限度地減少對工件的損壞。不斷檢測施加在工件和磨石上的壓力，并由NC控制切削壓力和切削量。磨削始終在最佳條件下實現(xiàn)。
3.終極旋轉和定位技術（專利），可創(chuàng)建超鏡面和超平坦表面。
砂輪主軸和工件主軸軸承采用非接觸式多面靜壓導軌。此外，為了實現(xiàn)定量恒壓復合控制加工，我們開發(fā)了雙靜壓軸承并將其用于工作軸（專利）。憑借出色的減振性能、無表面晃動的超精密旋轉以及高精度垂直軸定位，我們可以創(chuàng)造出前所未有的超鏡面和超平坦表面。
4、超高剛性結構，加工面無下垂。
高剛性床身和獨特的龍門框架結構的設計最大限度地減少了各軸上加工表面的切削深度和傾斜。
5.可進行晶圓厚度測量及自動加工。
自動處理和潔凈室兼容性也是可能的。
作為選配，工件厚度測量精度可達±1μm，支持自動加工。此外，還可以支持自動工件供應和潔凈室規(guī)格（詳細規(guī)格請聯(lián)系我們的總公司銷售部門）。
■針對難切削材料的加工而開發(fā)的全新加工方法
獨特開發(fā)的智能砂輪和固定恒壓聯(lián)合控制技術，實現(xiàn)前所未有的高效、高質(zhì)量、長刀具壽命的加工。
■恒壓定量復合控制
實時檢測施加在工件和磨石上的壓力，并由NC控制
切削。
■工件厚度自動測量
測量工件厚度的測量單元，精度可達±1μm?？梢灾С秩詣犹幚?。
■精密真空吸盤
根據(jù)客戶的要求，我們可以提供與晶圓吸附、BG 膠帶和打蠟平臺兼容的精密卡盤系統(tǒng)。
系列：
■超精密恒壓定量復合控制磨床（超精密磨床）
NSF-350（OP）
兼容最大6英寸的各種晶圓加工。該型號非常適合SiC、GaN、藍寶石、LT等的生產(chǎn)線。
■超精密恒壓定量復合控制磨床（超精密磨床）
NSF-600（OP）
可同時處理多種類型的晶圓，最多可處理三片 4 英寸晶圓和七片 3 英寸晶圓。該模型具有良好的記錄，非常適合 SiC、GaN、藍寶石、LT 等。
■超精密恒壓定量復合控制磨床（超精密磨床）
NSF-800（OP）
可同時研磨3片6英寸晶圓和7片4英寸晶圓。該機型還可以處理大直徑陶瓷和玻璃的加工。還支持自動工件交換。
規(guī)格：
型號/項目 | 工件最大直徑 毫米 | 垂直軸行程 毫米 | 回轉軸行程 毫米 | 工作軸最小單位 毫米 | 工作軸轉速 分鐘-1 | 砂輪主軸轉速 分鐘-1 | 砂輪尺寸（外徑×內(nèi)徑） 毫米 |
NSF-350 | φ150 | 150 | - | 0.0001 | 70~900 | 0~600 | φ350×30 |
NSF-600 | φ300 | 150 | 100 | 0.0001 | 70~600 | 0~600 | φ600×30 |
NSF-800 | φ380 | 約180 | - | 0.0001 | (70) ~450 | 0~450 | φ800×40 |
