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日本西鐵城走心機(jī)R04突破精度極限,半導(dǎo)體微細(xì)加工
2025-08-27 10:25:11

西鐵城 R04 是一款專為 微細(xì)零件加工 打造的超高精度走心機(jī),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、醫(yī)療、鐘表等高端制造領(lǐng)域。

憑借超高主軸轉(zhuǎn)速、納米級(jí)插補(bǔ)控制 與 長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行能力,R04 成為半導(dǎo)體零部件生產(chǎn)的首選設(shè)備。  

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 01  設(shè)備亮點(diǎn)    


 西鐵城R04 是一款超高精度走心機(jī)(Swiss-type CNC Lathe),專為微細(xì)零件加工而設(shè)計(jì)。其突出特點(diǎn)是: 

 ?  加工直徑范圍?。哼m用于 φ0.1mm~φ4mm 的精密零件。  

?  超高主軸轉(zhuǎn)速:最高可達(dá) 20,000rpm,實(shí)現(xiàn)極細(xì)微切削。  

?  高剛性刀具布置:保證極小工件在切削中的穩(wěn)定性。  

?  自動(dòng)化適配:可搭載棒材送料機(jī),實(shí)現(xiàn)長時(shí)間無人化運(yùn)行。  

?  高精度控制系統(tǒng):納米級(jí)插補(bǔ)和熱補(bǔ)償,保證 ±1μm 級(jí)精度。   

R04 機(jī)型被稱為“微細(xì)零件加工專家”,尤其適合半導(dǎo)體、光學(xué)及醫(yī)療行業(yè)的高精度零部件制造。 

 

 02  半導(dǎo)體行業(yè)的加工需求     

  半導(dǎo)體設(shè)備及相關(guān)零部件對(duì)加工精度和表面質(zhì)量要求極高,常見需求包括: 

1.  微型連接件  ?  半導(dǎo)體檢測(cè)治具、探針卡上的金屬接點(diǎn)針。  ?  要求尺寸精度 ±2μm,表面光潔度 Ra<0.2。   

2.  精密套筒與導(dǎo)向件  ?  用于晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)的定位套、導(dǎo)向銷。  ?  要求同軸度 <3μm,耐磨性能高。   

3.  微型軸類零件  ?  應(yīng)用于晶圓傳送、光刻機(jī)的傳動(dòng)組件。  ?  直徑常在 φ0.5mm 以下,長度/直徑比高。   

4.  特殊合金及難切削材料  ?  鎢、鉬、不銹鋼 316L 等。  ?  要求刀具壽命穩(wěn)定,加工過程恒定性強(qiáng)。    

 

 03  R04 在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例    

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咨詢:135 2207 9385


 案例一:探針針體加工 ?  工件規(guī)格:φ0.25mm × 6mm,材質(zhì)鎢合金。  

?  加工難點(diǎn):針體細(xì)長,易彎曲變形。  

?  R04 解決方案:  

?  利用走心式結(jié)構(gòu),工件始終靠近導(dǎo)套支撐。  

?  配合高轉(zhuǎn)速切削與超微量進(jìn)刀,保證針尖成型。   

?  結(jié)果:尺寸精度 ±1.5μm,合格率 99.8%。   

案例二:晶圓搬運(yùn)定位銷 

?  工件規(guī)格:φ1.2mm × 15mm,材質(zhì) SUS304。  

?  加工難點(diǎn):對(duì)同軸度和表面粗糙度要求極高。  

?  R04 解決方案:  

?  使用高精度導(dǎo)套,避免長軸跳動(dòng)。  

?  二次精加工 + 超精車,實(shí)現(xiàn)鏡面表面。   

?  結(jié)果:同軸度 <2μm,Ra=0.15μm,滿足半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)。   


 04

  應(yīng)用價(jià)值

 ?  提升產(chǎn)品精度  

?  確保半導(dǎo)體核心部件的一致性與可靠性。   

?  降低制造成本  

?  R04 可實(shí)現(xiàn)無人化運(yùn)行,減少人工干預(yù)。   

?  擴(kuò)大材料適用性  

?  可穩(wěn)定加工鎢、鉬、不銹鋼等難切削材料。   

?  縮短交付周期  ?  高速高精度加工,減少后續(xù)研磨與修整工序    

 

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  總結(jié)     

 ?  西鐵城 R04 作為微細(xì)零件加工的專用機(jī)型,在半導(dǎo)體行業(yè)的探針、定位件、軸類零件等制造中表現(xiàn)突出。其高精度、高穩(wěn)定性及適配無人化生產(chǎn)的特性,使其成為半導(dǎo)體零部件加工的理想選擇


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