電子反向散射衍射（EBSD）環(huán)境控制的樣品制備離子束制備SEM樣品制備
大規(guī)模的平面和橫截面樣品；通過離子銑削創(chuàng)建最大，最統(tǒng)一的平面區(qū)域。為環(huán)境敏感的材料提供了最終的工作流程。
MODEL 1062 Trion Mill
一款全自動臺式氬離子研磨機(jī)，具有高度靈活的研磨參數(shù)調(diào)節(jié)功能。該儀器支持平面和橫截面樣品的大規(guī)模研磨。通過三個離子源，可高效處理直徑達(dá)50 mm的樣品，實(shí)現(xiàn)離子研磨所能達(dá)到的最大且最均勻的平坦區(qū)域。允許將環(huán)境敏感材料直接傳輸至掃描電子顯微鏡（SEM）或聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）。
Model 1062 TrionMill 規(guī)格說明
離子源
三個TrueFocus離子源
可變能量操作（100 eV 至 10.0 keV）
束流密度高達(dá) 10 mA/cm2
研磨角度范圍：0 至 +10°
可選擇單離子源、雙離子源或三離子源操作
電動離子源角度調(diào)節(jié)
獨(dú)立的離子源能量控制
可調(diào)節(jié)的束斑尺寸（300 μm 至 5 mm）
每個離子源配備法拉第杯，用于直接測量束流，便于優(yōu)化和調(diào)整離子源參數(shù)以適應(yīng)特定應(yīng)用
束流對準(zhǔn)攝像頭
研磨速率超過 500 μm/小時
低離子源維護(hù)需求
負(fù)載鎖
前裝式負(fù)載鎖，實(shí)現(xiàn)高樣品吞吐量
氣動真空閘閥
快速釋放功能的卡口式樣品夾持器
用戶界面
通過254 mm [10 in.]、符合人體工程學(xué)的可調(diào)節(jié)觸摸屏控制儀器操作
自動終止
通過時間或溫度自動終止
MODEL 1062 TrionMill
一款全自動臺式氬離子研磨機(jī)，具有高度靈活的研磨參數(shù)調(diào)節(jié)功能。該儀器支持平面和橫截面樣品的大規(guī)模研磨。通過三個離子源，可高效處理直徑達(dá)50 mm的樣品，實(shí)現(xiàn)離子研磨所能達(dá)到的最大且最均勻的平坦區(qū)域。允許將環(huán)境敏感材料直接傳輸至掃描電子顯微鏡（SEM）或聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）。
樣品臺
支持平面和橫截面研磨功能：
平面
最大直徑50 mm，高度25 mm [1.968 x 0.787 in.]
橫截面
最大尺寸：10 x 10 x 4 mm [0.39 x 0.39 x 0.157 in.]
自動高度檢測確定研磨平面，確保結(jié)果可重復(fù)
360°樣品旋轉(zhuǎn)或搖擺運(yùn)動，速度可調(diào)
樣品冷卻（可選）
液氮傳導(dǎo)冷卻，配備集成杜瓦瓶
杜瓦瓶靠近儀器操作員
提供低溫保護(hù)功能，若樣品臺溫度超過用戶設(shè)定的溫度閾值，自動停止研磨操作
橫截面工作站（可選）
生產(chǎn)高質(zhì)量的橫截面樣品
樣品通過粘合劑固定在掩膜上
允許精確定位感興趣區(qū)域（X、Y和θ）
適用于多種材料，包括半導(dǎo)體器件、多層材料、陶瓷和硬/脆材料
制備的感興趣區(qū)域平坦且無損傷，便于后續(xù)SEM成像和分析
適應(yīng)多種樣品和掩膜尺寸：
樣品和掩膜在橫向和角度上對齊
單個掩膜可多次使用
夾持橫截面工作站（可選）
生產(chǎn)高質(zhì)量的橫截面樣品
適用于可能被粘合劑損壞的樣品；樣品通過夾持掩膜固定，無需粘合劑
允許精確定位感興趣區(qū)域（X、Y和θ）
適用于多種材料，包括半導(dǎo)體器件、多層材料、陶瓷和硬/脆材料
制備的感興趣區(qū)域平坦且無損傷，便于后續(xù)SEM成像和分析
適應(yīng)多種樣品和掩膜尺寸：
樣品和掩膜在橫向和角度上對齊
單個掩膜可多次使用
傳輸設(shè)備（可選）
主動冷卻傳輸（ACT）設(shè)備，允許在真空、惰性氣體或低溫條件下將樣品直接傳輸至SEM或FIB；也可選擇無低溫冷卻的傳輸設(shè)備
與Quorum Technologies Ltd.合作開發(fā)
樣品觀察（可選）
使用高倍顯微鏡時，可在研磨位置原位監(jiān)測樣品
顯微鏡選項：
525倍高倍顯微鏡
1,960倍高倍顯微鏡
觀察窗口由可編程快門保護(hù)，防止濺射材料堆積并保持原位觀察樣品的能力
樣品圖像采集（可選）
CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）相機(jī)用于圖像采集和顯示
適用于監(jiān)測分層過程
圖像采集系統(tǒng)包括：
CMOS相機(jī)
輔助顯示器
圖像采集計算機(jī)
鍵盤
鼠標(biāo)
圖像可保存至圖像采集計算機(jī)或傳輸至其他計算機(jī)
堆棧燈指示器（可選）
允許從遠(yuǎn)處確定研磨操作狀態(tài)
樣品照明
高倍顯微鏡配備光源，提供自上而下、用戶可調(diào)的反射樣品照明
工藝氣體
氬氣純度≥ 99.999%（超高純，5.0級）
使用三個質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)自動氣體控制
控制氣體
氮?dú)饧兌取?99.99%（高純，4.0級）或清潔干燥空氣（CDA）
真空系統(tǒng)
渦輪分子拖曳泵和無油多級隔膜泵
冷陰極全范圍真空傳感器
咨詢電話：13522079385
外殼尺寸
寬度：75.46 cm [29.71 in.]
高度：
觸摸屏：66.13 cm [26.04 in.]
高倍顯微鏡：85.27 cm [33.57 in.]
深度：85.91 cm [33.82 in.]
外殼設(shè)計便于維護(hù)時輕松訪問內(nèi)部組件
重量
99.8 kg [220 lb.]
電源
100/120 或 220/240 VAC；50/60 Hz；1000 W
保修
一年
