一、臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16產(chǎn)品特色
1、臺(tái)灣準(zhǔn)力JL-D16具有出色的加工能力，能夠?qū)崿F(xiàn)平面工件的雙面研磨或拋光。
2、臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16注重質(zhì)量，可以實(shí)現(xiàn)極小的加工厚度，最小可達(dá)到0.4mm。同時(shí)，在產(chǎn)品經(jīng)過(guò)加工后，表面的精度可以達(dá)到0.3μm，確保高度的加工精確性。
3、臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16兼具雙面研磨和拋光功能，實(shí)現(xiàn)了兩者的一體化，從而提高了工作效率并降低了成本。這使得該設(shè)備在表面處理應(yīng)用中成為一個(gè)全面而高效的解決方案。
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二、臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16應(yīng)用領(lǐng)域
臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16適用于各種非金屬和硬質(zhì)材料的表面加工。這包括半導(dǎo)體制造中常用的硅晶圓、石英、碳化硅（SIC）、玻璃等。
三、臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16產(chǎn)品規(guī)格
規(guī)格項(xiàng)目 | |
研磨盤(pán)外徑 | 1127mm |
夾具 (游星輪) 直徑 | 直徑370mm |
夾具 (游星輪) 數(shù)量 | 5 SETS |
每次總加工數(shù)量 | 6”晶圓: 15片 (pcs) (3pc / carrier) |
自動(dòng)厚度控制 | 可選配 |
加壓方式 | 氣壓缸加壓 |
壓力控制方式 | 電控比例閥 |
人機(jī)界面 | 可選配 |
控制方向 | PLC + 人機(jī)界面 |
內(nèi)齒輪轉(zhuǎn)盤(pán) | 3HP |
上磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)力 | 5HP |
下磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)力 | 15HP |
盤(pán)面轉(zhuǎn)速 | 20 - 60 R.P.M |
盤(pán)面壓力 | 10 - 300KG |
最大加工厚度 | 40mm |
最小加工厚度 | 0.4mm |
機(jī)器尺寸 | W: 2300 x D: 1420 x H: 2550 mm |
機(jī)器重量 | 6200kg |
適用電源 | 3? 220V (3? 380V) |
四、臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16選配配件
自動(dòng)厚度控制功能
人機(jī)界面面板
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臺(tái)灣準(zhǔn)力半導(dǎo)體晶圓雙面研磨/拋光機(jī)JL-D16
