一、臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII產(chǎn)品特色
1、氣浮式工作臺
①臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII的工作臺規(guī)格分為200SGC (8英吋) 及300SCGII (12英吋)，可提供客戶不同的使用情境，工作臺之回轉(zhuǎn)精度可達(dá)到0.1μm，滿足晶圓研磨的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。
②配置陶瓷真空吸盤，可使工件于研磨過程保持穩(wěn)固，并且不因負(fù)壓造成表面刮傷及凹陷等不良因素。
2、精密主軸
臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII采用氣浮式主軸設(shè)計(jì)，含中央冷卻通道，可迅速引入冷卻劑有效提升散熱效果，確保主軸穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，保持加工精確度，同時(shí)，減少受熱應(yīng)力，有助于保持加工高精度和降低變形風(fēng)險(xiǎn)。
3、磨床主體架構(gòu)
臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII采用高剛性焊接結(jié)構(gòu)，提供高度穩(wěn)定性，以確保加工過程降低震動(dòng)并有效提高研磨精度。
咨詢電話：159 1097 4236
4、智能電控系統(tǒng)
臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII配備先進(jìn)Fanuc Oi控制器，為全數(shù)字控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的機(jī)械運(yùn)動(dòng)，提供更精確的加工效果。
二、臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII應(yīng)用領(lǐng)域
臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII主要應(yīng)用于對表面精度和平面度有極高要求的硬脆材料研磨加工，適用于硅片、碳化硅、晶體、玻璃、陶瓷和藍(lán)寶石等脆性材料。
三、臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII產(chǎn)品規(guī)格
機(jī)型 | 臺灣準(zhǔn)力 JL-200SCG | 臺灣準(zhǔn)力 JL-300SCGII |
最大研磨面積 | ||
工件直徑 | ? 200mm | ? 300mm |
主軸 | ||
型式 | 氣靜壓主軸 | 氣靜壓主軸 |
主軸數(shù) | 1 | 1 |
功率 | 3.7kw | 11kw |
轉(zhuǎn)速 | 1000 ~ 5000rpm | 1000 ~ 3000rpm |
刀具 | ?250mm | ?350mm |
Z軸 | ||
行程 | 120mm | 120 - 200mm |
進(jìn)給分辨率 | 0.1μm | 0.1μm |
快速進(jìn)給 | 300 mm/min | 300 mm/min |
工作臺 | ||
型式 | 氣靜壓 | 氣靜壓 |
工作臺數(shù) | 1 | 1 |
轉(zhuǎn)速 | 0 ~ 500rpm | 0 ~ 500rpm |
厚度規(guī) (選購) | ||
量測范圍 | 0 ~ 1000rpm | - |
分辨率 | 0.1μm | - |
重現(xiàn)精度 | ± 0.5μm | - |
重量 | ||
機(jī)器重量 | 2000kg | 3000kg |
尺寸 | ||
主設(shè)備尺寸 | 600 (W) x 1700 (D) x 2100 (H) mm | 1100 (W) x 1950 (D) x 2100 (H) mm |
加工精度 | ||
TTV | 1.5μm | 3μm |
厚度公差 | - | ± 3μm |
表面粗度 | Ra 0.02μm | Ra 0.02μm (硅晶圓For Wafer) |
占地面積 | ||
長 x 寬 (包含外圍設(shè)備) | 3000 (L) x 2500 (W)mm | 2200 (L) x 1700 (W)mm |
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四、臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII產(chǎn)品配件
1、臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII標(biāo)準(zhǔn)配件
鉆石砂輪
法蘭
陶瓷真空吸盤
主軸溫度控制器
真空幫浦
工具箱及工具
2、臺灣準(zhǔn)力立式半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)JL-200SCG / JL-300SCGII選配配件
精密級空氣干燥機(jī)
高度計(jì)
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