愛(ài)發(fā)科上市生產(chǎn)效率為原來(lái)5倍的光學(xué)元件蝕刻裝置
2007-12-04 10:51:05
愛(ài)發(fā)科上市了生產(chǎn)效率高達(dá)原來(lái)5倍的量產(chǎn)用干蝕刻（Dry Etching）裝置。主要面向發(fā)光二極管（LED）和激光二極管。計(jì)劃從07年12月起開(kāi)始供貨，08年銷售30～40臺(tái)。價(jià)格為1億2000萬(wàn)日元。
該裝置采用了愛(ài)發(fā)科在化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)上積累的工藝技術(shù)。用于LED生產(chǎn)時(shí)，原來(lái)只能放置1片100mm晶圓，而該裝置可同時(shí)處理5片。此外，50mm晶圓的處理數(shù)量從8片提高至21片，75mm晶圓從4片提高至9片，從而提高了生產(chǎn)效率。
愛(ài)發(fā)科在化合物半導(dǎo)體（用于LED和激光二極管）、藍(lán)寶石、碳化硅、貴金屬和氧化膜等的蝕刻技術(shù)方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)技術(shù)。該公司將提供可實(shí)現(xiàn)上述處理應(yīng)用（Process Application）的設(shè)備和工藝。
愛(ài)發(fā)科將以綜合實(shí)力涉足以發(fā)光元件為主的化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)，將供應(yīng)干蝕刻裝置、真空蒸著裝置、濺射裝置和化學(xué)氣相沉積（CVD）裝置等，今后將繼續(xù)加強(qiáng)此類解決方案的開(kāi)發(fā)。
另外，愛(ài)發(fā)科預(yù)定在“Semicon Japan 2007”（07年12月5～7日在千葉縣幕張Messe會(huì)展中心召開(kāi)）上展出該裝置。
