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激光干涉儀的工作原理嗎
2008-08-18 15:28:57
ML10激光干涉儀
雷尼紹ML10激光干涉儀為機床檢定提供了一種高精度儀器,它精度高,達到±1.1PPM(在0~40℃下),測量范圍大(線性測長40m,任選80m),測量速度快(60m/min),分辨率高(0.001μm),便攜性好。由于雷尼紹激光干涉儀具有自動線性誤差補償功能,可方便恢復機床精度,更受到用戶歡迎!
為使大家進一步了解ML10激光干涉儀在檢測數(shù)控機床精度方面所具有的獨特優(yōu)點,下面著重介紹ML10激光干涉儀在精度檢測中的應用。
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到最佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。
目前,可供選擇的補償軟件有Fanuc,Siemens 800系列,UNM,Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。
(3)數(shù)控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。
(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。
(5)數(shù)控機床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。
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