| ES－CMM（手動）技術(shù)參數(shù) | ||
| 行程范圍 | 500mm×600mm×400mm | |
| 分辨率 | 0.5um | |
| 使用環(huán)境 | 溫度(20℃±2℃)溫度55%－56% | |
| 空氣壓力 | 0.4MPa-0.5MPa | |
| 空氣流量 | 100L/min-120L/min | |
| 整機(jī)尺寸 | 1.2m×1.4m×2.2m | |
| 整機(jī)承重 | 500kg | |
| 整機(jī)重量 | 850kg | |
| 控制軟件 | CMM-Manager(美國IQ) | |
| 探測系統(tǒng) | RENISHAW(英國)MH20I+TP20 | |
| 空間探測精度(E) | (3.5+L/300)um | |
| ES－CMM全自動（CNC）技術(shù)參數(shù) | |||
| 型號 | ES-CMM 1086 | ES-CMM 1218 | ES-CMM 1525 |
| 行程 X軸 | 800mm | 1000mm | 1200mm |
| Y軸 | 1000mm | 1200mm | 1500mm |
| Z軸 | 600mm | 800mm | 1000mm |
| 結(jié)構(gòu)模式 | 活動橋式 | ||
| 傳動方式 | 直流伺服系統(tǒng)/預(yù)載荷高精度空氣軸承 | ||
| 長度測量系統(tǒng) | RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5um(可選配0.1um) | ||
| 機(jī)臺 | 高精度花崗石平臺（00級） | ||
| 使用環(huán)境 | 溫度（20+/-2）度，溫度55%-66%，溫度梯度1度/米,溫度變化1度/小時 | ||
| 空氣壓力 | 0.4MPa-0.5MPa | ||
| 空氣流量 | 100L/min-120L/min | ||
| 整機(jī)尺寸(LWH) | 2.0mx1.5mx2.7m | 2.3mx1.8mx3.0m | 2.6mx2.1mx3.3m |
| 機(jī)臺承重 |
1000kg | ||
| 整機(jī)重量 |
2000kg |
2200kg | 2500kg |
| 控制系統(tǒng) | RENISHAW UCC1 | ||
| 操作方式 | 計(jì)算機(jī)自動控制+微電腦操縱盒（RENISHAW MCU1） | ||
| 控制軟件 | CMM-Manager(美國IQ)標(biāo)準(zhǔn)版(可選配CAD模塊) | ||
| 探測系統(tǒng) | RENISHAW MH20i+TP20(標(biāo)準(zhǔn)配置) RENISHAW PH10T+TP20(高級配置) RENISHAW PH10M+TP20(可加激光掃描測頭，選配) | ||
| 空間測量精度（E） | (3+L/300)um | ||
