| ES－CMM（手動）技術(shù)參數(shù) | ||
| 行程范圍 | 500mm×600mm×400mm | |
| 分辨率 | 0.5um | |
| 使用環(huán)境 | 溫度(20℃±2℃)溫度55%－56% | |
| 空氣壓力 | 0.4MPa-0.5MPa | |
| 空氣流量 | 100L/min-120L/min | |
| 整機(jī)尺寸 | 1.2m×1.4m×2.2m | |
| 整機(jī)承重 | 500kg | |
| 整機(jī)重量 | 850kg | |
| 控制軟件 | CMM-Manager(美國IQ) | |
| 探測系統(tǒng) | RENISHAW(英國)MH20I+TP20 | |
| 空間探測精度(E) | (3.5+L/300)um | |
