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激光器     1000W    1500W    2200W
額定功率  1000W    1500W    2200W
波長        10.6μm　 10.6μm   10.6μm
工作區(qū)域：  2維：X3000  Y2000
                3維：X2500  Y1500  Z750  mm
最大軸速度（X軸和Y軸）      40m/min
工作精度 ± 0,01/500 mm
精度 ± 0,05 mm
傳動(dòng)部件  X軸：滾珠絲杠
             Y軸：滾珠絲杠
             Z軸：滾珠絲杠
設(shè)備重量  11000 KG
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)功率7KVA

光束質(zhì)量（典型的M2 因素） <1.1    <1.1    <2.0
指向穩(wěn)定性   ±0.1 mrad    ±0.1 mrad    ±0.1 mrad
功率穩(wěn)定性    3%       3%       3%
最大脈沖頻率   2kHz      2kHz       2kHz
最小脈沖持續(xù)時(shí)間   50μs    150μs     50μs
電耗  10kVA    13.1kVA     29.1kVA