MQ系列三座標(biāo)測量儀：
技術(shù)參數(shù)：
形式：橋式結(jié)構(gòu)，工作臺固定
測量范圍：X:500mm～1000mm
Y: 500mm～2000mm
Z: 300mm～1000mm
示值誤差：E≤（2.5＋L/300~4+L/150uM）
探測誤差：R≤(2.5~4)Um
測量系統(tǒng)：Renishaw接觸式測頭
長度測量系統(tǒng)：Renishaw精密光柵系統(tǒng)
探測系統(tǒng)：Renishaw測頭系統(tǒng)
控制系統(tǒng)：PC總線DSP三軸矢量控制系統(tǒng)
驅(qū)動系統(tǒng)：直流伺服
電源：220V±10％
50/60Hz、1000W
壓縮空氣：（0.4~0.5）Mpa
壓縮空氣流量：200L/min（0.4Mpa）
使用環(huán)境：濕度（20±2）℃
濕度55％~65％
