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該系列大行程全自動影像測量儀采用龍門式結(jié)構(gòu)(橋架式)運行性能穩(wěn)定，且機構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機、全采用雙重閉環(huán)運動控制、可保證電機在中、高速動動時的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動對焦、配合美國Navitar自動變焦鏡頭，可實現(xiàn)自動變焦而不需倍率校正。
 目前主要運用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕級材料等。
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| 工作臺 | 金屬臺面尺寸(mm) | 760×640 | 800×550 | 800×800 | 750×1000 | 1140×1360 | 1340×1660 | |||||||||
| 玻璃臺面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | 650×650 | 650×850 | 1050×1250 | 1250×1550 | ||||||||||
| 運動行程(mm) | 500×300 | 600×400 | 600×600 | 600×800 | 1000×1200 | 1200×1500 | ||||||||||
| Z軸升降行程 | 200mm | |||||||||||||||
| 工作距離 | 92mm | |||||||||||||||
| X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | |||||||||||||||
| X、Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||||||||||||||
| 影像系統(tǒng) |
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| 測量系統(tǒng) | Mclns全自動測量軟件 | |||||||||||||||
