ZLM700雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量,ZLM800干涉儀可從單軸拓展為多軸,廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計算出機(jī)械設(shè)備的運行軌跡,并通過WINDOWS™軟件按用戶設(shè)定的方法對其進(jìn)行分析。
配用高性能蔡司光學(xué)鏡頭,ZLM70/800雙頻激光干涉儀可以完成以下各種測量工作: