CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀，具有測(cè)量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有專利的新型關(guān)聯(lián)算法，來查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界領(lǐng)先的非接觸式尺寸測(cè)量功能和先進(jìn)的厚薄膜測(cè)量技術(shù)。
CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測(cè)量功能，還可以提供兩種類型的膜厚測(cè)量。 近年來厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料；測(cè)量的厚度限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。 測(cè)量較薄的涂層被證實(shí)為難度更高。
現(xiàn)在通過干涉測(cè)量法可以研究厚度至 50 納米（同樣取決于折射率）的薄膜涂層。 采用這種新型方法，可以在單次測(cè)量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。
