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測量范圍（mm）
Z軸（縱向） 13mm/50mm測臂、臂26mm/100mm測臂
X軸（橫向） 200mm
精度
Z軸指示精度（縱向） ±(0.2+2| H |/100) mm ?。?plusmn;0.206μｍ/ H±6ｍｍ）
測量分辨率0.31ｎｍ/50ｍｍ測臂
X軸指示精度（橫向） ±0.2＋L/1000μｍ （±0.4μｍ/L200ｍｍ）
測量分辨率0.54nm
直線度精度0.05＋3L/10000μｍ?。?/span>0.11μｍ/L200ｍｍ）
測量方式
Z軸（縱向） 高穩(wěn)定倍光路型激光干涉計
X軸（橫向） 反光分析光尺
粗糙度處理功能
參數(shù)或計算類型
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
標準Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,
SR,SAR
評價曲線
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線
波紋度曲線、KIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡波紋度曲線
表面特性圖表負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線
傾斜補償
直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵曲線補償（直線、R面、兩端補償可
以在任意范圍內(nèi)）
CUTOFF值0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9級）任意（0.001-50mm）
縱倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍
橫倍率0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
輪廓度處理功能
參數(shù)或計算類型
點、直線、部分圓、橢圓、最在點、最小點、距離、坐標著、極坐標差、直交/極坐標差顯示、交叉
要素（點-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓）、對稱要素（點-點、點-圓、點-橢圓、直
線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓¬-橢圓）、面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結果與
設計值比對、鏡面反轉、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功
能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄.回放功能、形狀設計值比對、最佳似合功能、設計值生成、
IGES/DXF轉換
基準設定原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動
最小測量間距0.0005~1mm
最大測量點數(shù)最大150,000點
縱倍率0．01～10,000,000倍（任意、自動）
橫倍率0．01～10,000,000倍（任意、自動）
驅動速度
上下移動速度（Z軸） 0~200mm/s
測量速度（X軸） 0.03~3mm/s（粗糙度測量時） 0.02~20mm/s（輪廓度測量時）
移動速度（X軸） 0.02~60mm/s
上下驅動范圍500mm
驅動部交換式、0.75mN、2mmR半徑、金剛石
·準確性世界第一
儀器選用高穩(wěn)定性雙光路激光干涉式傳感器，實現(xiàn)了世界最高分辨率:0.3nm
·設計新穎
新的圓柱形設計，可使儀器檢測更大的工件
·速度快，振動小
在驅動器上采用線性馬達技術，使得測量的速度快，振動小。高速測量(最大200mm/s)，實現(xiàn)高生產(chǎn)率
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