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型號
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VMQ100
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測量范圍（mm）*
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Φ88
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| Z軸行程（mm） | 40 | |
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外部尺寸（mm）
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450×470×1070
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重量（kg）
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40
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承重（kg）
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3
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測量精度
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8 µm
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最大待測工件高度
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35mm
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最小顯示單位
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0.1µm
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光源
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輪廓光
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LED冷光源（綠色平行光），256級亮度可調(diào)
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表面光
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4分區(qū)環(huán)狀LED冷光源（白色），各段獨(dú)立控制，256級亮度可調(diào)
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圖像傳感器
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2/3” 500萬像素CCD
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軟件
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Vispec測量軟件（VMQ版）
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光學(xué)鏡頭
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Φ100mm雙遠(yuǎn)心鏡頭
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景深
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30mm
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保修期
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1年
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工作環(huán)境
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溫度20°C±5°C，濕度30～80%
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振動<0.002g,低于15Hz
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電源
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220V/50Hz/3A
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