●具有6軸的多關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)靈活搬運(yùn) 可用于從立式收納盒中取出基板以及伴有傾斜、翻轉(zhuǎn)等姿勢(shì)變換的所有搬運(yùn)工作 ●擁有充足的可搬運(yùn)能力的長(zhǎng)臂延伸模式 有能處理G10基板的臂長(zhǎng),其行程最大延伸至3.6m、上下行程為4.8m 工作范圍