型號 |
VI2010 |
VI3030 |
VI6040 |
VIB9060 |
VIB1210 | |
測量范圍 |
X |
200mm |
300mm |
600mm |
900mm |
1200mm |
Y |
100mm |
300mm |
400mm |
600mm |
1000mm | |
Z |
169mm |
169mm |
169mm |
200/500mm |
200/500mm | |
X-Y軸不確定度 |
U95=(1.5+L100)µm | |||||
Z軸不確定度 |
U95=(2.5+L100)µm | |||||
工作臺面積 |
457*336mm 557*534mm | |||||
工件最大重量 |
25KG | |||||
X,Y軸驅(qū)動類型 |
CNC,電動,帶手動搖桿,快速移動 | |||||
攝像系統(tǒng) |
CCD相機,分辨率752*582,480TVL PAL制造 | |||||
放大倍數(shù)(17’’顯示器) |
使用標鏡頭30x-200x,使用附加0.5x及2.0x鏡頭 15x-400x | |||||
測量分辨率 |
0.5µm(0.25µm) | |||||
分辨率 |
0.5µm |
0.5µm |
0.5µm |
0.1µm |
0.1µm | |
承載重量 |
25kg | |||||
工作速度 |
150mm/秒 |