激光干涉儀主要特色與效益
1.品質(zhì)管制維護
2.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、重量輕
3.自動數(shù)據(jù)采集
4.激光準確度經(jīng)由 NIST認證
5.毋須三腳架及干涉鏡
6.WindowsTM軟件
7.RS-232接口
8.自動環(huán)境補償
9.支持NMTBA、、ISO及 ASME B5.54標準
主要應(yīng)用
1.品質(zhì)管制維護
2.超精密定位
3.CNC機床、CMM、導(dǎo)螺桿及 DRO直線校驗 激光干涉儀的技術(shù)參數(shù): 最大量程 100000mm 準確度 1μm/M ； 分辨率 0.01μm 最高工作速度 2400M/min
