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主要技術(shù)參數(shù)：
1、方形玻璃基片尺寸：127-0.50×127-0.50×2.3±0.1mm
2、主軸轉(zhuǎn)速：200～6000RPM 精度：±10RPM 增量：1RPM
3、主軸最大加速度：8000RPM／s（只對(duì)涂膠機(jī)）
4、熱板溫度：室溫～200℃，精度：±1℃
5、滴膠量：0～38ml可調(diào)，
6、可靠性：MTBF≥150h MTTR≤2h
7、工藝工步時(shí)間：999.9秒 增量：0.1秒
8、外形尺寸（L×W×H）：1920mm×545mm×1120mm
9、重量：800公斤
10、電源條件：220VAC±10%，50Hz、10A
11、供氮?dú)鈼l件：0.4MPa,純度99.99%外接外徑為Ф6mm,內(nèi)徑為Ф4mm氮?dú)夤?/FONT>
12、 供真空條件：
總抽氣量120dm3/min
真空度為-0.085Mpa
外接管徑為：外徑Ф6mm內(nèi)徑Ф4mm
13、排風(fēng)：
抽風(fēng)量2.83m3/min
最小壓強(qiáng)124Pa
排風(fēng)管徑為Ф100mm | | |
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