|
型 號
|
|
TR Scan-101
|
TR Scan-301
|
|
工作臺移動范圍X
|
mm
|
固定式
|
100
|
|
工作臺移動范圍Y
|
mm
|
固定式
|
100
|
|
工作臺移動范圍Z
|
mm
|
240
|
|
|
XYZ軸最小移動量
|
um
|
0.1
|
|
|
XYZ軸定位精度
|
um
|
1
|
|
|
XY軸導(dǎo)軌直線度
|
um
|
0.3
|
|
|
工件最大重量
|
Kg
|
20
|
|
|
測量頭
|
|
DHM S1
|
DHM S2
|
CCM P1
|
DIM P1
|
|
垂直分辨率(Z)
|
nm
|
0.1
|
0.1
|
8~780 **
|
10
|
|
軸向分辨率(XY)
|
um
|
0.6
|
0.6
|
0.9~14 **
|
1
|
|
典型測量范圍(Ra) *
|
um
|
0.4
|
1.6
|
0.012 ~>200 **
|
20
|
|
垂直測量范圍 *
|
um
|
3
|
7
|
130~24000 **
|
350
|
|
最大允許誤差(Ra)
|
%
|
1%
|
1%
|
1%~5% **
|
5%
|
|
重復(fù)性(Ra,1σ)
|
nm
|
< 0.1
|
< 0.1
|
< 5~25 **
|
9
|
|
樣品反射率
|
%
|
< 1% ~100%
|
< 1% ~100%
|
< 1% ~100%
|
-
|
|
視場范圍
|
mm
|
0.25 x 0.25
|
0.25 x 0.25
|
-
|
-
|
