F25
不管是微電機(jī)，微型開關(guān)或其他精細(xì)組建 ，用F25可以高精度測量微系統(tǒng)技術(shù)的每個(gè)工件。
精確至納米
Carl Zeiss的三坐標(biāo)測量機(jī)F25提供了滿足質(zhì)量保證中對工件形狀，位置和尺寸的特別需求的解決方案。微系統(tǒng)技術(shù)組件將被用于汽車零部件和醫(yī)療儀器上，并且在高精度控制和調(diào)節(jié)過程中起到?jīng)Q定性作用。此精細(xì)工件質(zhì)量監(jiān)控的精度決定了零部件使用時(shí)的可靠性。
接觸掃描和ViScan光學(xué)傳感器 極小部件的測量
重要特征
超精密運(yùn)動(dòng)學(xué)與高精度測量系統(tǒng)的完美組合，分辨率為7.5nm，測量精度高達(dá)250nm
配置了Carl Zeiss三坐標(biāo)測量機(jī)中久經(jīng)考驗(yàn)的CALYPSO測量軟件
機(jī)器技術(shù)
靈活的多傳感器技術(shù)：同一系統(tǒng)采用接觸和光學(xué)測量
其接觸式被動(dòng)掃描傳感器使用的是帶有集成壓阻組件的硅芯片
使用Zeiss顯微技術(shù)鏡頭的光學(xué)影像傳感器VISCAN，可用于二維測量
附加的相機(jī)支持測量時(shí)的可視化操作，并且便于示教編程
接觸掃描傳感器 測量應(yīng)用范圍廣
選項(xiàng)
靈敏的三維探針測桿直徑50至500µm，探測頭直徑100至700µm
