激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器,主要用于精密測(cè)量光學(xué)平面度。
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一、用 途: | |
PG15-J型激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器,主要用于精密測(cè)量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源(波長(zhǎng)為6328A)。對(duì)于干涉條紋可目視、測(cè)量讀數(shù)、照相留存記錄。
PG15-J型激光平面干涉儀工作時(shí)對(duì)防震要求一般。該儀器可應(yīng)用于光學(xué)車(chē)間、實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室。如配購(gòu)相關(guān)的必要附件,可精密測(cè)量光學(xué)平板的微小楔角、光學(xué)材料折射率n的均勻性,光學(xué)鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度,90o棱角的直角誤差及角錐棱鏡單角和綜合誤差。 | |
二、特 點(diǎn): | |
PG15-J型激光平面干涉儀工作基于雙光束等厚干涉原理。 | |
PG15-J |
根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)果,光兼有波動(dòng)與微粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的 |
波動(dòng)性的特性。 | |
三、主要技術(shù)參數(shù): | |
1、第一標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。 工作直徑:D1=Φ146mm 不平度小于0.02μm(λ/30)。 2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。 工作直徑:D2=Φ140mm 不平度小于0.03μm(λ/20)。 3、準(zhǔn)直系統(tǒng):孔徑F/2.8, 工作直徑:D1=Φ146mm 焦距:f=400mm. 4、測(cè)微目鏡:焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場(chǎng)角2w=40o 成像物鏡:I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=37 5、干涉室尺寸:深260*寬300*190mm。 6、光源規(guī)格:激光ZN18(He-Ne)。 7、儀器的外形尺寸:長(zhǎng)*寬*高 350*400*720mm。 8、儀器重量:100公斤。 |