GPI系列激光干涉測量儀，運用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質量，傳輸波前的測量和分析。可應用于：
平面和球面的面形檢測
平面楔角測量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差
光學材料均勻性測量
角錐角度和面形偏差測量
精密盤片質量檢驗
三平板絕對測量
雙球面絕對測量
靜態(tài)干涉條紋判斷
澤尼克多項式分析
球面曲率半徑測量
GPI系列高精度激光干涉測量儀的主機為Fizeau型干涉儀，具有光學器件少，精度高，易于使用等特點。光源為低功率氨氖激光，光束擴展為1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直徑，自干涉儀輸出。安裝在輸出孔之前的標準透射器件將部分激光反射回干涉儀，形成參考波面。余下激光穿過透射器至樣品。根據(jù)光束在樣品表面直接反射或透射后再反射回主機，形成測量波面。根據(jù)參考波面和測量波面干涉產(chǎn)生的干涉條紋，可以測量樣品的表面面形和傳輸波面質量，樣品為平面或球面。如果為非平面和非球面，則需通過加裝補償片等手段進行測量。
GPI系列干涉儀采用精密移相技術和高分辨率CCD接收器件（最高可達 2048 X 2048），配合功能強大的MetroPro™軟件可以獲得高精確性和高質量的測量結果，其平面樣品 PV絕對精度優(yōu)于λ/100 ！
球面樣品 PV絕對精度優(yōu)于λ/140！并能模擬樣品表面面形，包括鮮明的，可旋轉的3D彩色圖像，可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計數(shù)字結果等。同時，針對用戶的各種樣品、各種要求，可以通過提供各種精密可選附件，配合功能強大的MetroProTM軟件，為用戶提供完美的技術解決方案并獲得滿意的測量結果。
GPI－XP系統(tǒng)最大的特點就是其功能強大的MetroProTM軟件系統(tǒng)。使用互動的窗口顯示，在屏幕上同時提供儀器控制，表面面形模擬，測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析等功能。測量數(shù)據(jù)可以存在磁盤上，或傳輸至其它計算機作進一步處理或統(tǒng)計分析。也可以使用彩色打印機打印出MetroProTM高質量的數(shù)據(jù)圖像。 Mesa―平面度測量儀。 ZYGO公司專為精密機械加工件和薄型光學元件的平面度測量而設計的一種干步測量儀器，其測量對象是粗糙度為2.5μm(Ra)和平面面形誤差150μm(Pa)以下的零件，測量樣品直徑可達Ф96mm。Mesa同樣采用功能強大的MetroProTM軟件，可在5秒鐘內完成測量和分析，并向用戶提供零件的三維面形圖和各類測量數(shù)據(jù)。
