| 分辨率 (μm) |
精度 (μm/M) |
量程 (mm) |
輸 出 信 號 |
參 考 標(biāo) 記 |
重 復(fù) 量 程 |
| 0.1μm,0.5μm 0.000004inch,0.00002inch |
±5μm ±0.00012inch |
50 ~ 1200 | 正弦1Vpp | 距離編碼 | 亞微米 |
| 5μm,10μm 0.0002inch,0.0004inch |
±5μm ±10μm |
50 ~ 3200 | 差動TTL | 距離編碼 | 亞微米 |
| 光柵密度 (1/mm) |
工作速度 (M/Min) |
耐振動 (M/sec) |
工作溫度 (℃ ) |
電源電壓 (V) |
電纜最長 (M) |
| 50;100;125 | 30 ~ 100 | 20 ~ 35 | -10 ~ +50 | +5；+24 | 30 |
