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產(chǎn)品特點(diǎn)： 1 、非接觸式測(cè)量：避免對(duì)象受損。 2 、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為 1nm ---200μm。 3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。 4 、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。 5、高速數(shù)字訊號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。 6 、掃描儀：采用死循環(huán)控制系統(tǒng)。 7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。 8 、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的使用者接口，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。 | ||
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應(yīng)用領(lǐng)域： 1、半導(dǎo)體芯片 2、液晶產(chǎn)品（CS,LGP,BIU） 3、微機(jī)電系統(tǒng) 4、光纖產(chǎn)品 5、資料存儲(chǔ)盤（HDD,DVD,CD） 6、材料研究 7、精密加工表面 8、生物醫(yī)學(xué)工程
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