技術(shù)參數(shù)
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型號(hào)：ZLM700
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使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
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He-Ne激光平均波長(zhǎng)：
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632.8 nm
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激光穩(wěn)頻精度：
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一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
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系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：
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±0.4ppm
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光束直徑：
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6mm (可選3.2mm)
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激光管突發(fā)最大輸出功率：
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1mW (激光等級(jí)2)
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每束光可測(cè)量的軸數(shù)：
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1
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線性測(cè)量距離：
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40m，可擴(kuò)展為120m
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角度測(cè)量范圍：
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± 15°，20m軸線范圍
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平面度測(cè)量范圍：
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20m行程
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直線度測(cè)量范圍：
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± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
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垂直度測(cè)量范圍：
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± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
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最大速度：
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4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
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最大加速：
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無(wú)限制
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最高采樣頻率：
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內(nèi)部1MHz，外部40MHz
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預(yù)熱時(shí)間：
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10分鐘
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精度/非線性：
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±0.3nm (角隅反射鏡)
±0.1nm (平面反射鏡)
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距離測(cè)量分辨率：
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0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選
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距離測(cè)量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
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±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
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線性度測(cè)量分辨率：
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0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選
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線性度測(cè)量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
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±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
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速度測(cè)量精度：
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±0.5ppm實(shí)測(cè)值
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角度測(cè)量分辨率：
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0.015μrad (3x10-3 弧秒)
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角度測(cè)量精度：
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±0.1ppm實(shí)測(cè)值
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平面度測(cè)量分辨率：
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0.015μrad (3x10-3 弧秒)
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平面度測(cè)量精度：
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±0.2%實(shí)測(cè)值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
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直線度測(cè)量分辨率：
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36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
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直線度測(cè)量精度：
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±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程
± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
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垂直度測(cè)量分辨率：
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36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
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垂直度測(cè)量精度：
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±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
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數(shù)據(jù)接口：
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積分信號(hào)
32 Bit (實(shí)時(shí)時(shí)間) Dt » 20 ns |
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數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
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ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
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工作環(huán)境：
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溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無(wú)冷凝
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儲(chǔ)存環(huán)境：
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溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無(wú)冷凝
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耶拿爾干涉儀
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歐洲某品牌
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型號(hào)：ZLM700
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型號(hào)：XX-XX
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工作原理:
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雙頻激光干涉原理(外差式, 頻差640MHz)
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單頻零差式激光干涉原理，采用遠(yuǎn)程干涉測(cè)量法
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波長(zhǎng):
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632.991nm
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632.991nm
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激光輸出功率:
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<1mW Class II (可選 Class 3R)
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<1mW Class II
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1小時(shí)內(nèi)穩(wěn)頻精度:
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0.002ppm
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0.04ppm
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產(chǎn)品壽命內(nèi)穩(wěn)頻精度:
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0.02ppm
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0.1ppm/年
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壽命:
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約20000小時(shí)
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約8000小時(shí)
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穩(wěn)定工藝:
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溫度穩(wěn)定法(對(duì)兩種模式進(jìn)行比較，外差式)
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零差式(1種模式)
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激光束直徑:
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6mm (可選3.2mm)
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6mm
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每束激光可測(cè)量的軸數(shù):
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1-6
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1
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測(cè)量范圍
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距離 :
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0...40m，可選120m
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0...40m，可選80m
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角度:
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± 15°，軸線范圍20m
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± 5° ，軸線范圍15m
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直線度:
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0-2m 或 0-10m
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0.1-4m 或 1-30m
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垂直度:
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0-2m 或 0-10m
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0.1-4m 或 1-30m
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分辨率
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距離 (使用角隅反射鏡) :
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0.6 nm，速度v= 4m/s
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1nm，速度v=4m/s
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0.3 nm，速度v= 2m/s
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0.1 nm，速度v= 1m/s
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角度:
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0.003角秒(0.015µrad)
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0.1µrad
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直線度(短距離):
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7nm
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10nm
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垂直度(短距離):
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7nm
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10nm
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直線度(長(zhǎng)距離):
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36nm
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100nm
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垂直度(長(zhǎng)距離):
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36nm
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100nm
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精度
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距離:
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+/-0.4ppm
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+/-0.5ppm
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角度:
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+/-0.1ppm
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+/-0.6%實(shí)測(cè)值
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直線度(短距離):
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+/-0.5%實(shí)測(cè)值
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+/-0.5%實(shí)測(cè)值
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垂直度(短距離):
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+/-0.5%實(shí)測(cè)值
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+/-0.5%實(shí)測(cè)值
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直線度(長(zhǎng)距離):
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+/-2.5%實(shí)測(cè)值
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+/-2.5%實(shí)測(cè)值
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垂直度(長(zhǎng)距離):
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+/-2.5%實(shí)測(cè)值
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+/-2.5%實(shí)測(cè)值
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光學(xué)鏡(直線度用):
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差分干涉鏡
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無(wú)(僅使用一個(gè)Wollaston棱鏡)
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系統(tǒng)的線性度:
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非常好(這是因?yàn)槭褂昧瞬罘指缮骁R)
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不明(取決于Wollaston棱鏡質(zhì)量)
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可測(cè)量到的偏差范圍
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直線度:
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+/- 5mm
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+/-2.5mm
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垂直度:
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+/- 5mm
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+/-2.5mm
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輔助調(diào)節(jié):
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計(jì)算機(jī)輔助調(diào)節(jié)
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小孔
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接口:
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PCI
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USB
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cPCI (PXI)
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USB
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AquadB (積分信號(hào))
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32bit實(shí)時(shí)
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采樣速度:
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0.001Hz - 1MHz (可調(diào))
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50 kHz
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