主要特征:
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型號(hào) |
Croma686 |
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行程(mm) |
X
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600
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Y
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800
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Z
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600
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外形尺寸(mm) |
Lx
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1150
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Ly
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1735
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Lz
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2647
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測量空間(mm) |
Dx
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734
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Dz
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144
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Dz1
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794
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承重(kg)
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300
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機(jī)器重量(kg)
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730
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| MPEe(μm) |
2.8 +L/300
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| MPEp(μm) |
3.5
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| 光柵尺分辨率(μm) |
0.078
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| 空間移動(dòng)速度(mm/s) |
520
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| 空間移動(dòng)加速度(mm/S2) |
1730
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| 流量/供氣壓力(μm) |
100 NI/min. 0.45Mp
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| 溫度 |
20±2℃
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| 濕度 |
45%-75%
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