
一、北京博魯斯潘VG系列超精密納米光學數(shù)控磨床產(chǎn)品介紹
北京博魯斯潘VG系列超精密納米光學數(shù)控磨床是一款高剛性、高精度、實現(xiàn)超光滑表面的超精密數(shù)控磨床產(chǎn)品,VG 系列主要應用于光學領(lǐng)域超精密關(guān)鍵元器件表面超光滑磨削。
二、北京博魯斯潘VG系列超精密納米光學數(shù)控磨床產(chǎn)品亮點
1、高精度,主軸跳動標配2μm,可選0.5-0.05μm;
2、-X/Z軸定位精度1μm;X/Z軸重復定位精度0.5μm。
三、北京博魯斯潘VG系列超精密納米光學數(shù)控磨床應用領(lǐng)域
北京博魯斯潘VG系列超精密納米光學數(shù)控磨床主要應用于光學領(lǐng)域超精密關(guān)鍵元器件表面超光滑磨削,如光刻機精密零件,衍射光學、幾何光學零件的超精密磨削加工。
四、北京博魯斯潘VG系列超精密納米光學數(shù)控磨床技術(shù)參數(shù)
項目 | 規(guī)格 | 單位 | 500VG CNC | 700VG CNC | 800VG CNC | 1000VG CNC | 1200VG CNC |
行程 | X軸行程 | mm | 600 | 700 | 750 | 850 | 950 |
Y軸行程 | mm | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 | |
主軸 | 徑向跳動 | μm | 標配2μm,高配可選:0.5 – 0.05μm | ||||
軸向竄動 | μm | 標配2μm,高配可選:0.5 – 0.05μm | |||||
最大砂輪線速度 | m/s | 35 | |||||
轉(zhuǎn)臺 | 直徑 | mm | 500 | 700 | 800 | 1000 | 1200 |
徑向跳動 | μm | 0.05 | |||||
軸向竄動 | μm | 0.05 | |||||
精度 | X/Z定位精度 | μm | ±1(0.3可選 ) | ||||
X/Z重復定位精度 | μm | ±0.5(0.1可選 ) | |||||
進給系統(tǒng) | 最小執(zhí)行進給當量 | μm | 0.1 |