技術(shù)參數(shù) |
MT/MOT |
MTD |
MKT |
MX/MOX |
MC/MOC |
MP/MOP |
MY/MOY |
柵距 |
玻璃鉻線柵距:20 µ m (0.0008 inch) |
精確度 |
± 10 µ m |
± 5 µ m |
( ± 0.0004 ") |
( ± 0.0002 ") |
分辨率 |
5 µ m (0.0002") |
1 µ m (0.00004") |
Up to 0.1 µ m |
0.5 µ m (0.00002") |
(0.000004") |
零參考點 Io |
MKT: 增量式 每 50 mm (1.97 ")一個 |
MT, MTD, MX, MX-L, MC, MP, MY: 由中間向兩端 每 50 mm (1.97 ")一個 |
MOT, MOX, MOC, MOP, MOY: 距離編碼零參考點 |
最大速度 |
60 m/min. (198 ’/min.) |
最大頻率 |
50 Khz |
250 Khz |
50 Khz |
500 Khz |
最大振動 |
3g |
移動力 |
< 5N ( 2N for MX-L series) |
密封等級 |
IP 53 (標準) |
IP 64 (DIN 40050) 使用壓縮空氣 |
輸出信號 |
TTL |
TTL 差動 |
TTL |
TTL 差動 |
11 µ App |
1Vpp |
TTL 差動 |
輸出信號 |
20 µ m |
4 µ m |
20 µ m |
2 µ m |