特征:
閉回路控制 自動(dòng)對齊動(dòng)子方向,自動(dòng)歸原點(diǎn) 失步自動(dòng)偵測 空氣軸承,無磨損 重現(xiàn)度達(dá)±3μm 最大行程:1000*1000mm 應(yīng)用:
WAFER探針臺、檢測機(jī) SMD線路板、飛針檢測